密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)是一種利用等離子體能量激活化學反應,在低溫條件下實現薄膜沉積的先進工藝。其核心原理是通過射頻(RF)、微波或直流放電將反應氣體電離,形成包含電子、離子和自由基的高活性等離子體。這些活性粒子在基底表面發生化學反應,生成固態薄膜,從而將傳統化學氣相沉積(CVD)所需的高溫(通常>600℃)降低至100-400℃,甚至室溫。