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設備特點：
★機械泵前加裝過濾網，抽氣口加裝過濾網、百葉窗等防護件，氣路設計避免揚塵
★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦控制可選，完善的邏輯程序互鎖保護及異常報警
★自動控制蒸發源輸出，可選配共蒸發制備工藝
設備參數：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600/800×700×700
設備尺寸（L×W×Hmm)：1200×950×2000/1850×870×2100
★真空極限：優于（3E﹣05）Pa
抽速保壓：（8E﹣04）≤20min保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優異（±3％~±5%），重復性優異（±3％~±5%）
★基片臺：210mm×210mm/350mm×350mm
★蒸發源：可搭配4～8組蒸發源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發，可與電子束進行對接
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