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主要特點(diǎn):
★濺射鍍膜室配有帶擋板的觀察窗，可以很方便的觀察設(shè)備內(nèi)部的工作狀態(tài)。
★基片架可以在濺射室實(shí)現(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)；往復(fù)位置和運(yùn)動(dòng)速度可以設(shè)定。
★自動(dòng)傳遞方式，調(diào)頻電機(jī)控制，同步運(yùn)行。室內(nèi)均有定位功能，可實(shí)現(xiàn)原點(diǎn)復(fù)位。
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